論文介紹了半導(dǎo)體領(lǐng)域機(jī)器學(xué)習(xí)的相關(guān)發(fā)展歷程，評(píng)述了各種常用算法的原理及其在半導(dǎo)體領(lǐng)域的主要應(yīng)用，同時(shí)對(duì)近年來(lái)的代表性研究進(jìn)展進(jìn)行介紹，包括半導(dǎo)體材料分析、半導(dǎo)體工藝優(yōu)化等。最后對(duì)目前該領(lǐng)域的發(fā)展現(xiàn)狀做了總結(jié)，并對(duì)機(jī)器學(xué)習(xí)在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用前景做了展望。

　　戰(zhàn)略中心汪洋團(tuán)隊(duì)面向信息化戰(zhàn)略支撐應(yīng)用研究需求，從人工智能方法角度出發(fā)，指導(dǎo)學(xué)生進(jìn)行歸納總結(jié)，并利用中心資源開展了一定的復(fù)現(xiàn)實(shí)驗(yàn)，系統(tǒng)地總結(jié)了數(shù)據(jù)采樣收集、特征工程、研究問(wèn)題和算法匹配性、模型選擇等機(jī)器學(xué)習(xí)過(guò)程在半導(dǎo)體材料及工藝中的應(yīng)用、所面臨的各方面挑戰(zhàn)，對(duì)從事半導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體工藝優(yōu)化研究的科研人員提供非常有價(jià)值的參考。

　　論文鏈接：https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S2709472322000314